专注涂胶显影设备的研发攻关上海众鸿完成超7000万元A轮融资

  36氪获悉，近日，半导体设备制造商上海众鸿电子科技有限公司（以下简称“上海众鸿”）完成超7000万元A轮融资，由毅达资本、合肥产投旗下创新投及个人投资商联合投资。融资资金将大多数都用在产品研制、推进设备量产、业务扩展及市场营销等方面。

  近年来，由于下游需求旺盛以及光刻用量的增大，涂胶显影行业处于高速上升期，增量市场不断上涨。VLSl多个方面数据显示，全球前道涂胶显影设备销售额由2013年的14.07亿美元增长至2018年的23.26亿美元，年均复合增长率达10.58%，预计2023年将达到24.76亿美元；全球前道单片式清理洗涤设施销售额由2013年的16.31亿美元增长至2018年的22.69亿美元，年均复合增长率达6.83%，预计2023年将达到23.14亿美元。

  上海众鸿成立于2011年，是一家半导体制造设备研发商，专注于涂胶显影设备的研发攻关。团队侧，公司目前员工总数为89人，其中研发人员为22人（海外专家8人），占比约25%。创始人金浩天从事半导体集成电路设备行业迄今已15年，带领团队为韩国、日本、新加坡及中国台湾地区半导体制造客户提供设备技术服务，并将海外先进的技术导入应用于实体技术升级。

  从发展脉络来看，上海众鸿在2018年成立自研攻关小组，基于此前15年的产业经验积累，开启自主研发涂胶显影设备之路。到了今天，其自研设备已经成功通过客户验证，并拿到客户正式订单近20台。

  上海众鸿主要营业产品包括自研涂胶显影设备、金属剥离设备、单片旋转式清理洗涤设施等，业务覆盖半导体核心设备的多个领域，为客户提供多样化的解决方案和服务。

  团队告诉36氪，为满足不同客户的前道晶圆制造工艺技术要求，众鸿分别在多样性、功能性、部件选型等方面做了差异化布局。

  首先，功能性方面，众鸿的自研设备对不一样的尺寸的晶圆做到了友好兼容，如４寸和６寸、６寸和８寸、8寸和12寸兼容；其次，旗下产品的功能对客户不相同的基底材质、不同的产品能做到很好的适配。以设备最关键的机械手臂为例，众鸿就自行开发、制造，并一直在升级改良，同时也申请了不少的专利，可实现用户不同工艺需求的晶圆传送要求。

  具体到产品矩阵，上海众鸿现已推出涂胶显影设备ZHT-200、涂胶显影设备ZHT-150、全自动金属剥离机（Metal lift off ) ZHL-200、旋转式清洗设备ZHS-200等。性能侧，以ZHT-200为例，通过涂胶显影单元、烘烤单元等配合，能够将芯片制程中需要的精细化图形在基底材料上显现出来，同时具有灵活组合的优势，可以满足客户不相同工艺的需求；同时支持跟光刻机Inline、KRF工艺匹配，可提供高精度热板、高精度机台环境控制、高精度化学品控温系统，支持客户的OHT、EAP、FDC等系统；可完美对应8寸（含8寸以下）的半导体前道制程。ZHT-150产品具备高稳定性、高集成度、占地面积小、性能优良等特性，对LED、功率器件等小尺寸产品的客户非常适配。

  相关负责人透露，眼下，团队正在研发用于先进封装等领域的12寸设备，以及先进制程进程中所需要的专用机型。截至目前，上海众鸿拥有各项专利80余项，被评为“上海市高新技术企业”、“上海市专精特新企业”、“临港新片区重点企业”等。

  上海众鸿创始人、董事长兼总经理金浩天表示：“本次成功融资将有利于众鸿逐步扩大市场占有率，提升自研产品竞争力，同时也为未来的发展注入新的活力。因此，此次融资成功不仅是众鸿发展壮大的一个重要里程碑，更是开启新篇章的始发点。我们将以此为契机，继续秉承众鸿成为‘领先的半导体核心设备制造商’的经营理念，为客户提供更优质的产品和服务。”

  毅达资本项目负责人付轶潇表示：“半导体设备是毅达资本在半导体领域长期关注的赛道之一。众鸿所处的半导体核心工艺设备领域国产化替代需求较为强烈。其中，涂胶显影设备可应用于前道晶圆加工及后道先进封装，因技术门槛较高，目前国产化率处于较低水平。在国内晶圆加工产业越来越蓬勃的形势下，该设备未来市场空间巨大。众鸿具有先发优势，自研涂胶显影设备目前已成功实现量产，毅达资本希望未来能够发挥产业生态圈优势，助推众鸿国产自研设备全面打开市场，实现更大的突破。”

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